henkoHが原因ではなく\bekuでエラーになっているようです。
  \HenKo[0]<henkoH=10ex>\Xr\O{$\beku{u}$}
  \HenKo[0]<henkoH=3ex>\u\O{$\beku{u'}$}
を
  \HenKo[0]<henkoH=10ex>\Xr\O{$\protect\beku{u}$}
  \HenKo[0]<henkoH=3ex>\u\O{$\protect\beku{u'}$}
とすればエラーはなくなります。

▼関連発言
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└◆3385:\HenKoのオプション henkoH について [穂積] 07/15 22:27
　├◆3388:Re:\HenKoのオプション henkoH について [石原　守] 07/16 08:11
　└◆3391:Re:\HenKoのオプション henkoH について [tDB] 07/16 09:56
　　└◆3423:解決いたしました。 [穂積] 07/19 15:02<-last